执行标准

GB/T 3863-2008

GB/T 14599-2008

产品等级

2.2N

5.0N

O2

≥99.2%

≥99.999%

杂质含量

H2

-

≤0.5ppm

Ar

-

≤2.0ppm

N2

-

≤5.0ppm

CO2

-

≤0.5ppm

THC(as CH4)

-

≤0.5ppm

H2O

无游离水

≤2.0ppm