执行标准

GB/T 4844-2011

GB/T 4844-2011

GB/T 4844-2011

产品等级

4.5N

5.0N

6.0N

He

≥99.995%

≥99.999%

≥99.9999%

杂质含量

Ne

<15ppm

<4.0ppm

<1.0ppm

H2

<3ppm

<1.0ppm

<0. 1ppm

O2+Ar

<3ppm

<1.0ppm

<0.2ppm

N2

<10ppm

<2.0ppm

<0.2ppm

CH4

<1ppm

<0.5ppm

<0. 1ppm

CO

<1ppm

<0.5ppm

<0. 1ppm

CO2

<1ppm

<0.5ppm

<0. 1ppm

H2O

<10ppm

<3.0ppm

<0.2ppm

<10ppm

<3.0ppm

<0.2ppm

总杂质

<50ppm

<10.0ppm

<1.0ppm